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- 產品介紹
- GAS PURIFICAMION SYSTEM
- LED中MOCVD的淨化器/管路淨化器
GAS PURIFICAMION SYSTEM
LED中MOCVD的淨化器/管路淨化器
Line Purifier for MOCVD in LED
| 流速 | 最大流速1000 SLPM |
| 應用氣體 | 氨，氫，氮 |
| GAS系列 | TPAM-LP, TPH-LP, TPN-LP |
LED業務中用於MOCVD的管路淨化器是在滿足需要要超高純度氣體的特殊應用，並去除工作氣體中的雜質。
它們是可以內置在MOCVD工具中也可以安裝在外部機殼上。
此外，淨化器可以訂製以滿足客戶的需求與配置，並通過成熟的設計製造出最大安全性、易操作性與維護性。
為滿足客戶的需求，產品會不斷的開發來達到完美的性能，基於互惠互利的目標，我們始終會將產品做到最好。
它們是可以內置在MOCVD工具中也可以安裝在外部機殼上。
此外，淨化器可以訂製以滿足客戶的需求與配置，並通過成熟的設計製造出最大安全性、易操作性與維護性。
為滿足客戶的需求，產品會不斷的開發來達到完美的性能，基於互惠互利的目標，我們始終會將產品做到最好。