析。

測試項目與使用儀器介紹

• 1.保壓測試:愛知壓力紀錄器
2.氦測漏測試:INFICON UL1000
3. 微粒子分析:PMS partical counter
4. 水份分析:MEECO Tracer 2
5. 微氧分析:DELTA F 310
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氣體管路測試流程圖

保壓測試

以大於7Kg/cm²(使用壓力1.2-1.5倍)之PN2暫壓，須保持24 Hr不漏。

氦測漏測試:利用負壓模式檢測

水,氧,Partical:

和Purifier出口端比較，需小於10ppb才能準確分析。

氦測漏測試:利用負壓模式檢測

示蹤氣體A噴於管路或接頭閥件外面,用儀器去檢測容器是否有 A氣體，這種方式能檢測出漏點並能測知漏率，這種檢漏方式稱之為真空測漏。

水,氧,Partical:

和Purifier出口端比較，需小於10ppb才能準確分