宗旨

為了確保氣體管路以及盤面之不漏氣的品質控管,使用氦氣測漏儀測試於真空狀態中之氣體管路與盤面在負壓狀態下,用氦氣噴吹檢查是否有氦氣滲透現象來檢視覆核管路與盤面的品質。
真空系統也不可能完全不漏氣，因此只要漏氣率符合規定標準。

 

定義

氣體管路包含MAIN GAS PIPING含VMP/VMB/HOOK UP。

一般規範負壓真空在1 X 10-9即達到標準。

 

使用設備

1.廠牌:ANELVA

2.型號:M-222LD-D

3.規格尺寸:

 

標準作業程序

• 將要測試的管路之所有進出氣封口關閉。
• 留下測試管路與氦測漏儀做銜接。

• 將氦氣測漏儀氣內真空直抽到1x10-9 atm.cc/sec 。
• 確定銜接的臨時管路沒漏氣,再進行主要管路之測試。

• 測試管路與盤面真空數值必須達到1x10-9 atm.cc/sec以下,且數值穩定後才可進行測試動作。
• 管路已經進行抽真空,任何閥件與開關都不可再開啟,不然會使真空幫補瞬間吸進大氣會造成損壞和測試數據失效。

• 檢查管路與盤面上的焊接點,VCR接頭跟使用的閥件是否有焊接組裝好。
• 一般流量計與針閥氣密性都不好,要特別注意檢查。

• 使用氦氣噴槍在需要測試的管路的焊接點,VCR接頭微噴測試。
• 監控測漏儀的數值顯示要在1x10-9 atm.cc/sec以下,如果數值飆升要從近接口至遠的接頭查核起。

• 將測試數值紀錄在電子紀錄器於氦測漏測試報告上,待測試結束後,管路有經過儀器之氮氣破真空。
• 一般檢驗標準在1x10-9 atm.cc/sec,或者依照業主的檢驗規範。