宗旨

製程氣體管路中所含微粒子的多寡會影響製程產品的品質,所以將所有關於生產之氣體管路須作微粒子測試來提高生產良率,進而降低生產的製造成本。

 

定義

氣體管路包含MAIN GAS PIPING含VMP/VMB/HOOK UP。
一般檢測標準氣體為GN2/CDA size≦0.1μｍ≦10 pcs。
Cycle Purge 使用保壓壓力衝吹25次以上。
Purge 吹淨時間至少60分鐘以上。
每次測試十分鐘取樣一次並記錄,連續測試三次取得平均值。

使用設備

1.廠牌: PMS

2.型號:HPGP-101(防爆型)

3.規格尺寸:

優點:安全保護殼/適於氧氣與氫氣/ 0.1μm靈敏度和 0.1SCFM流速

8 個粒子通道/容許40-150psig的管路壓力/被動式鐳射源

 

標準作業程序

• 使用0.01μｍFilter來過濾惰性氣體GN2。
• 氣體來源純淨度必須≦ 0 pcs/ft3 (size≦0.1μｍ)。

• 管路盤面入口接上氣源來吹淨所需測試之管路與盤面。
• 測試先輕敲之測試管路,所有閥件要做cycle purg25次以上衝吹,才可以促使微粒子隨氣體排出管外。
• 此purge吹淨過程需要維持60分鐘以上才能進行測試。

• 一開始加壓至5kg/cm²來暫壓12小時觀察
• 盤面如果為多氣體出口則須分開獨立測試,不可串聯。
• 測試時間:每次十分鐘連續測三次來計算平均值。

• 測試規格:平均值≦ 10pcs/ft3。
• 須將測試結果列印出來貼於報告,作日後的追查與識別。